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진종한 (J. Jin) 논문수  · 이용수 3,571 · 피인용수 1

소속기관
한국표준과학연구원
소속부서
물리표준본부
주요 연구분야
공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10% 공학 > 기타 공학
연구경력
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저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드
#3D imaging (3차원 이미징)
#절대거리 측정
#펨토초 레이저
#합성파(synthetic wavelength)
#Absolute distance measurement (절대 거리 측정)
#Absolute metrology(절대 측정)
#Accelerometers (가속도계)
#Amplitude modulation (진폭 변조)
#astigmatism
#Certified Reference Material (표준 인증 시편)
#coherence EUV
#Depth (깊이)
#depth measurement
#Diameter(지름)
#Dimensional standard (형상 치수 표준)
#Distance measurement (거리 측정)
#Double-slit
#Femtosecond Laser Pulses
#Femtosecond laser(펨토초 레이저)
#femtosecond pulse laser
#fiber interferometer
#filed enhancement
#flat panel display
#Frequency modulation (주파수 변조)
#Frequency stabilization(주파수 안정화)
#Frequency synthesizer(주파수 합성기)
#Gauge block measurement(게이지 블록 측정)
#Geometrical thickness
#Glass panel
#group refractive index
#Interferometry
#Large display
#Laser Ablation
#Laser Interferometer (레이저 간섭계)
#Length measurement (길이 측정)
#ME 3D printing (재료 압출 방식의 3차원 프린팅)
#Micromachining
#microscope
#nano-device
#Optical metrology (광계측)
#Optical modulation (광 변조)
#Phase Calibration (위상 교정)
#Physical thickness(물리적 두께)
#Precision length metrology(정밀 길이 측정)
#Refractive index
#Refractive index measurement
#Sensitivity (감도)
#Silicon wafer
#Silicon wafer (실리콘 웨이퍼)
#single shot
#Spectral-domain interferometer (분광 간섭계)
#Step Height (단차)
#surface profile
#Synthetic wavelength interferometer(합성파 간섭계)
#thickness
#Thickness measurement
#thickness variation
#three-dimensional
#TSV
#via hole
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