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전력전자학회 전력전자학회 학술대회 논문집 전력전자학회 2000년 학술대회논문집
발행연도
2000.7
수록면
400 - 403 (4page)

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This paper deals with the active clamp ZVS flyback converter for semiconductor plasma
etching system. The proposed converter has the characteristics of the good power facter, low swithcing noise and efficiency improvement. The characteristics are verified through simulation results. Furthermore, the ringing effect due to output capacitance of the main switch can be eliminated by use of active clamp circuit.

목차

ABSTRACT

1. 서론

2. 본론

3. 시뮬레이션 및 결과

3. 결론

참고문헌

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