피코초 레이저 어블레이션을 이용한 미세 가공 연구

노지환; 손현기; 서정; 이제훈

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자료유형: 학술저널

저자정보: 노지환 손현기 서정 이제훈 (한국기계연구원)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.27 No.2

발행연도: 2010.2

수록면: 25 - 28 (4page)

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The micro fabrication on the mold material using picosecond laser ablation processing has been studied. We used the two kind of system with picosecond laser. First one is two mirror type scanner and telecentric f-theta lens. Second one is X-Y stage and objective lens. By using these system, the 100㎛ size chess patterning and 2㎛ size patterning was fabricated. Especially 2㎛ size patterning on the mold material can be used as the decorative rainbow color logo for industrial field. In this paper, it is proved the picosecond laser is effective tool for the laser ablation processing.

#Picosecond Laser Ablation (피코초 레이저 어블레이션) #Micro Fabrication (미세 가공) #Galvano Scanner (갈바노 스캐너) #Diffraction Grating (회절 격자)

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