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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1998년도 하계학술대회 논문집 E
발행연도
1998.7
수록면
1,797 - 1,799 (3page)

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목차

Abstract
1. 서론
2. 플라즈마 이온주입 장치
3. 플라즈마 진단 및 쉬스 동역학
4. 결론
[참고문헌]

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