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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.2
- 수록면
- 1 - 8 (8page)
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본 논문은 자동차용 타이어 공기압 모니터링 시스템(TPMS)의 핵심 부품인 가속도센서에 관한 연구이다. 일반적으로 압저 항형 가속도센서는 정전용량형 가속도센서에 비하여 제조 비용이 적고 출력 특성이 선형적이며 주변 잡음에 면역성이 강한 장점을 갖는다. 그래서 TPMS용으로 압저항형을 선택하였고, ANSYS 프로그램을 이용하여 3가지 타입의 구조를 설계하여 공진 주파수 특성을 비교하여 가장 안정적인 구조인 질량체 가장자리의 가운데에 있는 4개의 빔에 의하여 지지되는 브릿지 타입의 실리콘압저항형 가속도센서를 선택하였다. 그리고 센서 크기를 고려하여 빔의 길이는 200μm로 정하였으며, 빔 길이에 따른 최대응력과 최대변위를 시뮬레이션하여 센서를 설계하였다. TPMS용 4 빔 실리콘 미세압저항형 가속도센서의 크기는 3.0 mm× 3.0 mm × 0.4 mm의 크기로 제작 되었다. 휠 각도에 따른 출력 특성과 온도 특성을 측정하여 센서의 특성을 분석하였다. 그 결과 가속도센서의 옵셋 전압은 43.2 ㎷ 이고 감도는 42.5 ㎶/V/g 이다. 센서의 특징으로 내충격성은 1500 g 이고, 측정 범위는 0 ∼ 60 g , 사용온도는 ?40 ℃ ∼ 125 ℃를 갖는다.
목차
요약
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 압저항형 가속도센서 설계 및 제조
Ⅲ. 가속도센서 측정
Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
참고문헌
저자소개
참고문헌 (9)
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1. [학술지(정기간행물)] - 신옥 / 1999 / 빔 치변화에 따른 4빔 압항형 실리콘 가속도센서의 제조 특성비교 / 한자공학회 논문지 36 (5) : 606 ~ 613
2. [학술지(정기간행물)] - L. Roylance / 1979 / Batch-fabricated silicon accelerometer / Electron Devices 26 : 1911 ~ 1917
3. [학술지(정기간행물)] - K. H. Kim / 1995 / A skewsymmetric cantilever accelerometer for automotive airbag application / Sensors and actuators A 50 : 121 ~ 126
4. [학술대회논문] - 신옥 / 1997 / 빔 치변화에 의 한 4빔 압항형 실리콘 가속도센서의 타축특성 / Conference on Sensor Technology : 200 ~ 205
5. [학술대회논문] - By A. Alvin Barlian / 2009 / Review: Semiconductor Piezoresistance forMicrosystems / proceedings of the IEEE : 530 ~ 533
2. [학술지(정기간행물)] - L. Roylance / 1979 / Batch-fabricated silicon accelerometer / Electron Devices 26 : 1911 ~ 1917
3. [학술지(정기간행물)] - K. H. Kim / 1995 / A skewsymmetric cantilever accelerometer for automotive airbag application / Sensors and actuators A 50 : 121 ~ 126
4. [학술대회논문] - 신옥 / 1997 / 빔 치변화에 의 한 4빔 압항형 실리콘 가속도센서의 타축특성 / Conference on Sensor Technology : 200 ~ 205
5. [학술대회논문] - By A. Alvin Barlian / 2009 / Review: Semiconductor Piezoresistance forMicrosystems / proceedings of the IEEE : 530 ~ 533
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