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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
반정현 (인천대) 한희민 (인천대) 김준석 (인천대)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 P 전기학회논문지 제61P권 제3호
발행연도
2012.9
수록면
116 - 121 (6page)

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Recently, in the field of renewable energy such as solar cells including the semiconductor and display industries, thin film deposition process is being diversified. Furthermore, to deal with trend of making high-quality and fast, the high-capacity and output plasma power supply which can control high density plasma is required. The biggest problem is arc discharge caused by using high voltage power supply. Thus, the key function of plasma power supply is to prevent arc discharge and there is a need to maintain the possible minimum arc energy. In DC sputtering power supply, on a periodic basis (-)voltage powering up is able to significantly reduce arcing, as well as arc discharge prevention, and maintaining uniform charge density. This conventional method for powering up (-)voltage requires heavy mutual inductance of the transformer to avoid distortion problem of the output voltage. This study is about energy recovery circuit for arc discharge prevention in sputtering plasma power supply. By using energy recovery circuit, it is possible to reduce the mutual inductance and size of the transformer dramatically, prevent distortion of the output voltage and has a stable output waveform. This work was proved through simulation and experimental study.
#Arc discharge #Magnetron sputtering #Plasma power supply

목차

Abstract
1. 서론
2. 기존 및 제안된 전원장치에 대한 연구
3. 시뮬레이션 비교 분석
4. 실험 장치 구성 및 결과
5. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (4)

참고문헌 신청
Geoffrey N. Drummond / 1998 / ENHAVCED REACTIVE DC SPUTTERING SYSTEM / U. S. Patent 5,718,813 google schola Noborn Kuriyama / 2002 / POWER SUPPLY UNIT FOR SPUTTERING DEVICE / U. S. Patent 6,416,638 B1 google schola J. Sellers / 1998 / Asymmetric bipolar pulsed DC: Theenabling technology for reactive PVD / Surface and Coatings Technology 98(1):1245~1250 google schola Weerasak Somkhunthot / Bipolar Pulsed-DC Power Supply for Magnetron Sputtering and Thin Films Synthesis / Faculty of Electrical Engineering Universiti Teknologi Malaysia 9(2):20~26 google schola

이 논문의 저자 정보

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