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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 제어로봇시스템학회 International Journal of Control, Automation, and Systems International Journal of Control, Automation, and Systems 제5권 제1호
- 발행연도
- 2007.2
- 수록면
- 35 - 42 (8page)
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목차
Abstract
1. INTRODUCTION
2. TORSIONAL-TYPE MEMS ACCELEROMETER STRUCTURE
3. OPERATIONAL PRINCIPLES AND DYNAMICS SIMULATION
4. OSCILLATION LOOP ANALYSIS AND DESIGN
5. PERFORMANCE TEST
6. CONCLUSION
REFERENCES
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1999. / A novel resonant accelerometer; Variable electro-static stiffness type : 1546 ~ 1549
2. [학술지(정기간행물)] - / 2000.01 / A vacuum packaged differential resonant accelerometer using gap sensitive electrostatic stiffness changing effect : 352 ~ 357
3. [학술지(정기간행물)] - / 2001.09 / Design and analysis of nonlinear feedback loop for a resonant accelerometer, : 1906 ~ 1911
4. [학술지(정기간행물)] - / 1988. / A synergitic com-bination of vibrating beam and quartz flexure accelerometer Journal of the Institute of Navigation 34 : 337 ~ 353
5. [학술지(정기간행물)] - / 1995. / Resonant microbeam accelerometer : 659 ~ 662
2. [학술지(정기간행물)] - / 2000.01 / A vacuum packaged differential resonant accelerometer using gap sensitive electrostatic stiffness changing effect : 352 ~ 357
3. [학술지(정기간행물)] - / 2001.09 / Design and analysis of nonlinear feedback loop for a resonant accelerometer, : 1906 ~ 1911
4. [학술지(정기간행물)] - / 1988. / A synergitic com-bination of vibrating beam and quartz flexure accelerometer Journal of the Institute of Navigation 34 : 337 ~ 353
5. [학술지(정기간행물)] - / 1995. / Resonant microbeam accelerometer : 659 ~ 662
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