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저자정보
이찬 (수원대학교) 길현권 (수원대학교) 김강천 (수원대학교) 김준곤 (수원대학교) 심재업 (엘오티베큠) 윤일중 (엘오티베큠)
저널정보
한국유체기계학회 한국유체기계학회 논문집 한국유체기계학회 논문집 제16권 제2호
발행연도
2013.4
수록면
10 - 14 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2023

반도체 생산설비의 배기계통 성능분석 및 진공펌프 유동-구조 연성해석
이찬 한국유체기계학회 학술대회 논문집 2023.07 학술대회자료

2013

반도체 생산설비 루츠형 진공펌프 계통에 대한 유동-구조 연성해석
이찬 ,  길현권 ,  김강천 외 3명 한국유체기계학회 논문집 2013.04 학술저널

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The present study conducts CFD analyses on the internal flow fields of roots type vacuum pumps of semiconductor fabrication facility, and the computed CFD results for internal pressure and temperature distributions are applied to structural analyses of the pumps. The coupled analysis results between flow and structure show that the deformation of pump structure is mainly resulted from the thermal expansion of gas in pump, and the deformed impeller and housing produce their severe contact and impact phenomena causing mechanical damage and fracture.
#Vacuum pump(진공 펌프) #Dynamic mesh(동적 격자) #Housing(하우징) #Rotor(회전차) #Clearance(간극) #CFD(전산유체역학) #FEM(유한요소해석)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 진공 펌프 모델 및 해석 방법
3. 해석 결과
4. 결론
참고문헌

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [단행본] - 황태성 / 2008 / 기초진공기술 / 보문당 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - 이상윤 / 2010 / 반도체/디스플레이 공정급 건식진공펌프 개발 개요 / 한국진공학회지 19 (4) : 265 ~ 274 dbpia 4. [보고서] - 이찬 / 2012 / 반도체 공정용 진공펌프계통해석 및 WH4400, WS1001의 유동/구조 해석 google schola 5. [인터넷자원] - / / TEMAZ, www.fmclithium.com google schola 6. [학술지(정기간행물)] - Monnier,d. / 2009 / Gaseous Phase Study of the Zrorgano-Metallic ALD Precursor TEMAZ by Mass Spectrometry / Journal of Electochemical Society 156 (1) : 71 ~ 75 google schola

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