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저자정보
김기홍 (Korea Institute of Machinery and Materials) 이형석 (NanoSystem Co.) 김창규 (NanoSystem Co.) 임형준 (Korea Institute of Machinery and Materials) 이재종 (Korea Institute of Machinery and Materials) 최기봉 (Korea Institute of Machinery and Materials)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.23 No.6
발행연도
2014.12
수록면
636 - 641 (6page)

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This paper discusses the fabrication process for a Nipkow disk using micro?lens and pinhole disks. The confocal measuring system that uses the Nipkow disk has the advantage in measuring speed, because the Nipkow disk can simultaneously provide confocal images of all pixels in a CCD camera without requiring a lateral scanning unit. A micro?lens configuration, which focuses illumination on a pinhole, overcomes the low optical efficiency of the Nipkow disk system and allows its use in practical applications. This paper describes how to design the Nipkow disk in terms of numerical aperture, particularly for measuring the height of solder bumps in packaging application and for hybrid processes combining mechanical and semiconductor processes.
#Nipkow disk #Confocal measurement #Micro-lens disk #Pinhole disk #3-dimensional measurement

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 닙코 디스크의 설계
3. 닙코 디스크 제조 공정
4. 결론
References

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Daly, D. / 2001 / Microlens Arrays / CRC Press google schola 2. [단행본] - Pawley, J. B. / 2006 / Handbook of Biological Confocal Microscopy / Springer google schola 3. [단행본] - Corle, T. R. / 1996 / Confocal Scanning Optical Microscopy and Related Imaging Systems / Academic Press google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Tanaami, T. / 2002 / High-speed 1-frame/ms scanning confocal microscope with a microlens and Nipkow disks / Appl. Opt 41 (22) : 4704 ~ 4708 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Ishihara, M. / 1999 / High-speed surface measurement using a nonscanning multiple-beam confocal microscope / Opt. Eng 38 (6) : 1035 ~ 1040 google schola

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