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박북성 (서울시립대학교) 이선구 (서울시립대학교) 손성일 (팬택계열) 곽칠성 (재능대학) 김철주 (서울시립대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년도 추계학술대회 논문집Ⅱ
발행연도
2007.11
수록면
409 - 410 (2page)

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This paper is on the modeling of two-axis accelerometer and extraction of their frequency characteristics which is applied surface micro machining for measuring the frequency at two-dimensional plane. In this paper, MEMS which is a field of two-axis accelerometer semiconductor sensors using surface micro machinin ... 전체 초록 보기

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