ALD 처리된 몰드를 이용한 나노임프린트로 제작한 Sub-10nm 나노패턴

조성환 ,  우주연 ,  한창수

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

The Fabrication of Sub-10nm Nanopattern Array Using Nanoimprint Lithography with ALD-treated Template

조성환 ,  우주연 ,  한창수

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

Sub-10 nm 나노임프린트용 몰드와 나노패턴 제작 방법

우주연 ,  조성환 ,  오준호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

나노 임프린트를 이용한 양자점 나노 패턴 필름 제작

신상호 ,  정준호 ,  황보연 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Printing of Sub-10 nm Nanopattern Arrays using Atomic Layer Deposition of Alumina

우주연 ,  조성환 ,  오준호 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .04

대면적 롤 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술

임형준 ,  정상희 ,  이상욱 외 5명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

나노임프린트 리소그래피 공정 기반의 나노-마이크로 복합 패턴 몰드 제조

권순근 ,  정상희 ,  임형준 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

나노임프린트 리소그래피 공정으로 제작된 생체모사 나노패턴의 세포 생장 활성화

손경성 ,  배원규

대한전기학회 학술대회 논문집

2022 .07

Fabrication of functional nano-structures using nanoimprint lithography and its application to photonic devices

Heon Lee

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

양면 열-나노임프린트를 이용한 극저반사 필름 제조

심영보 ,  여나은 ,  조상욱 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

나노임프린트 리소그래피에서 스핀코팅 조건에 따른 잔류막의 변화에 관한 연구

송준호 ,  신승우 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2023 .04

Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작

최수현 ,  김우영 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

유연소자를 위한 롤 기반 나노임프린트 리소그래피 기술

임형준 ,  권순근 ,  김기홍 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

나노 임프린트 3D 폴리머 구조물상의 ZnO 나노와이어의 열수 합성

박수연 ,  Sean A. Moo ,  e 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .05

Au/Ag Bimetallic Nanopattern Fabrication via Block Copolymer Lithography

차승근 ,  김상욱

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Transition Metal Dichalcogenide Nanopatterns by Block Copolymer Lithography

김진구 ,  김상욱

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2019 .10

나노임프린트 공정 기반의 웨어러블 전극 전사 기술

권순근 ,  이택수 ,  안준형 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

패턴과 패턴의 정렬을 위한 장비설계

이태경 ,  서보욱 ,  김석 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구

김효태 ,  최경현 ,  양영진 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10