Study on the Nanoscale Behavior of ALD Pt Nanoparticles at Elevated Temperature

안지환

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 안지환 (서울과학기술대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.33 No.8

발행연도: 2016.8

수록면: 691 - 695 (5page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

This paper covers the investigation of the microscale behavior of Pt nanostrucures fabricated by atomic layer deposition (ALD) at elevated temperature. Nanoparticles are fabricated at up to 70 ALD cycles, while congruent porous nanostructures are observed at > 90 ALD cycles. The areal density of the ALD Pt nanostructure on top of the SiO2 substrate was as high as 98% even after annealing at 450℃ for 1hr. The sheet resistance of the ALD Pt nanostructure dramatically increased when the areal density of the nanostructure decreased below 85 - 89% due to coarsening at elevated temperature.

#Atomic layer deposition(원자층증착법) #Platinum catalyst(백금 촉매) #Thermal stability(열적안정성) #Nanostructure(나노구조)

참고문헌 (7)

참고문헌 신청

송오성 / 2008 / 저온 ALD로 제조된 TiO₂나노 박막 물성 연구 / 한국재료학회지 18(10):515~520

An, J. / 2013 / Ultra-Thin Catalytic Electrodes Fabricated by Atomic Layer Deposition / Physical Chemistry Chemical Physics 15(20):7520~7525

Waqas Hassan Tanveer / 2015 / Characterization of Atomic Layer Deposited and Sputtered Yttria-Stabilized-Zirconia Thin Films for Low- Temperature Solid Oxide Fuel Cells / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 16(10):2229~2234

Lee, W. Y. / 2016 / Localized Charge Transfer Reactions Near the Pt-YSZ Interfaces Using Kelvin Probe Microscopy / Int. J. Precis. Eng. Manuf.-Green Tech 1(3):201~205

최훈 / 2014 / Fabrication and Characterization of Anode Supported YSZ/GDC Bilayer Electrolyte SOFC Using Dry Press Process / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology 1(2):95~99

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

안지환

소속기관 포항공과대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5%

논문수 57 이용수 2,783

이 논문과 함께 이용한 논문

Atomic Layer Deposition of TiO₂ using Titanium Isopropoxide and H₂O : Operational Principle of Equipment and Parameter Setting

Ka , am Cho , Jung-Dong Pa 외 2명 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE 2016 .06

ALD 공정에서의 플라즈마 응용

이우재 , 윤혜원 , 이동권 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2015 .05

ALD법으로 성장시킨 Al₂O₃ 박막의 특성분석

성석제 , 김동진 , 배영호 외 2명 대한전자공학회 학술대회 2001 .06

실리콘 산화막의 두께에 따른 ALD Al₂O₃ 박막의 passivation 효과

김영도 , 박성은 , 탁성주 외 4명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2009 .06

Profiling of Phenolic and Volatile Compounds in Non-eible Parts of Strawberry

Dong Sub Kim , Haeyoung Na , Changhoo Chun 한국원예학회 학술발표요지 2011 .10

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2017-555-001028834

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (7)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)