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이호준 (부산대학교) 정해도 (부산대학교) 김문성 (에이스나노캠)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2016.10
수록면
93 - 93 (1page)

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2016

산화막 CMP에서 혼합 입자 슬러리의 비구형 입자 혼합비가 미치는 영향
이호준 ,  정해도 ,  김문성 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10 학술대회자료
비구형 혼합 콜로이달 실리카 입자의 산화막 CMP 연마 특성
이호준 2016.01 학위논문

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#Oxide CMP #mixed abrasive slurry #non-spherical particles #mixing ratio

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