Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Warpage Measurements

A. P. D ,  ija ,  ka 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

대형 디스플레이 패널 두께 프로파일 측정 간섭계의 성능평가

배재석 ,  박정재 ,  진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

웨이퍼 변형측정 광학모듈의 성능 및 신뢰성 평가

김재완 ,  이재용 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

웨이퍼 박막두께 간이 측정기

강지현 ,  심준영 ,  이수빈 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2024 .10

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

시험장비의 특성을 고려한 진동시험결과에 대한 측정불확도 추정

문석준 ,  정정훈

한국소음진동공학회논문집

2016 .12

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

시험장비의 특성을 고려한 진동시험결과의 측정불확도 추정 예

문석준 ,  박진우

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2016 .10

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry

박효미 ,  최문성 ,  주기남

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

퓨리에 변환 분광기를 이용한 실리콘 웨이퍼 두께 측정

박영원 ,  이주형

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .12

파력발전 출력성능 측정불확도 요소 분석

김길원 ,  이정기 ,  고태경 외 1명

한국해양환경·에너지학회 학술대회논문집

2021 .10

분광 반사계를 이용한 다층 박막 두께 측정의 불확도 평가

배재석 ,  박정재 ,  진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

고체추진기관의 추력측정불확도 개선 방법 연구

이규준 ,  권영화 ,  정치훈 외 2명

한국추진공학회 학술대회논문집

2020 .11