진공상태에서의 실시간 오염입자 복합특성 (크기분포, 성분, 형상) 측정기술 및 대면적 MoS2 저온증착 기술 소개

강상우; 김태완; 문지훈

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저자정보: 강상우 (한국표준과학연구원) 김태완 (한국표준과학연구원) 문지훈 (한국표준과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2017년 한국진공학회 (제52회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2017.2

수록면: 83 - 83 (1page)

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#오염입자 #복합특성 #MoS₂ #저온증착

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