반도체 제조를 위한 엣칭 공정의 생산관리에 관한 연구

신용호 ,  서정원 ,  이태억

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

1996 .10

반도체 기술

이진효

전자공학회지

1987 .04

반도체 기술

유영욱

정보화사회

1989 .01

반도체에 관하여

염곡훈

전자공학회지

1965 .07

반도체 제조공정에서의 환경제어 기술

김용진

대한기계학회지

1993 .02

반도체 생산공정의 제조생산성 및 자동화

구평회 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

1998 .07

반도체 제조공정의 자동화 기술 동향

이치열 ,  최낙만

전자공학회지

1987 .08

반도체 제조공정 배가스 처리기술

김용진 ,  황정호

공기청정기술

2001 .01

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 제조장치 및 공정의 최신 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2005 .03

차세대 반도체 기술 개발 : 반도체 세계 2강을 향하여

조중휘

전자공학회지

2006 .05

반도체 제조공정에서 오염분석 기술과 응용

박현열

공기청정기술

2006 .01

3차원 반도체 집적 기술

한태희 ,  정기석

전자공학회지

2009 .09

'91년도 반도체산업의 전망과 대응

김주범

전자진흥

1991 .01

반도체 기술 동향

편광의 ,  박형무

전자공학회지

1991 .12

모듈생산시스템에서의 가중 혼합 할당규칙 연구

양광모 ,  강경식 ,  박재현

산업경영시스템학회지

2004 .01

반도체 기술의 현황과 앞으로의 과제

민병준

전자진흥

1983 .01

반도체 설계기술의 현황과 전망

김충기

전자진흥

1983 .01

반도체 제조공정의 오염제어기술 및 사례

서동량

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1993 .11

반도체 제조공정에서의 입자제어

정재인

기계저널

2012 .05

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 생산장비의 신기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2003 .01