지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
We report p-type electrical characteristics of the amorphous La₂NiO<SUB>4+δ</SUB> thin films which were sputtered on the glass substrates using an RF sputtering system. As-deposited thin films at room temperature and 300℃ were amorphous in nature. Post-annealing of the thin film samples over 400℃ resulted in the nano-crystallization of the La₂NiO<SUB>4+δ</SUB>. The electrical properties of the films were much dependent on the oxygen partial pressure, temperature of the post-annealing and sputtering ambient. The as-deposited samples at room temperature show a hole concentration of 7.82×10<SUP>13</SUP> cm<SUP>-3</SUP>, and it could be increased as high as 3.51×10<SUP>22</SUP> cm<SUP>-3</SUP> when the films were post-annealed in an oxygen atmosphere at 500℃. Such p-type conductivity behavior of the La₂NiO<SUB>4+δ</SUB> films suggests that the amorphous and nano-crystallized La₂NiO<SUB>4+δ</SUB> films have potential for the application as p-type semiconductive or conductive materials at low temperatures where material diffusion is limited.
목차
Abstract
1. Introduction
2. Experimental
3. Results and Discussion
4. Conclusions
References
참고문헌 (27)
참고문헌 신청
Sihyuk Choi, Seonyoung Yoo, Jee-Young Shin, Guntae Kim, “High Performance SOFC Cathode Prepared by Infiltration of Lan+1NinO3n+1(n = 1, 2, and 3) in Porous YSZ,” J. Electrochem. Soc., 158 [8], (2011) B995-B999.
Xiaole Weng, Paul Boldrin, Isaac Abrahams, Stephen J. Skinner, Suela Kellici, Jawwad A. Darr, “Direct syntheses of Lan+1NinO3n+1 phases (n=1, 2, 3 and ∞) from nanosized co-crystallites,” J. Solid State Chem., 181, (2008) 1123?1132.
K. Ishikawa, W. Shibata, K. Watanabe, T. Isonaga, M. Hashimoto, Y. Suzuki, “Metal?Semiconductor Transition of La2NiO4+δ,” J. Solid State Chem., 131, (1997) 275-281.
Duan-ping Huang, Qing Xu, Feng Zhang, Wen Chen, Han-xing Liu, Jian Zhou, “Synthesis and electrical conductivity of La2NiO4+δ derived from a polyaminocarboxylate complex precursor,” Mater. Lett., 60, (2006) 1892?1895.
R. Sayers, M. Rieu, P. Lenormand, F. Ansart, J.A. Kilner, S.J. Skinner, “Development of lanthanum nickelate as a cathode for use in intermediate temperature solid oxide fuel cells,” Solid State Ionics, 192, (2011) 531-534.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Pulsed DC 마그네트론 스퍼터링으로 제조된 다층 광학박막의 특성
한국표면공학회지
2019 .08
-
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
-
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
-
증착 후 진공열처리에 따른 SnO<sub>2</sub> 박막의 특성 변화
열처리공학회지
2016 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
-
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
-
질소분위기 열처리에 따른 SnO<sub>2</sub> 박막의 구조적, 전기광학적 특성 변화
열처리공학회지
2017 .01
-
RF Magnetron Sputtering 증착법을 이용한 TiO₂/SiO₂/ZrO₂ 박막 특성 연구
한국안광학회지
2019 .09
-
Phase Behavior of 6-arm Star (PMMA-b-PS)6 in Thin Films
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2020 .10
-
Nonclassical Nanostructures of 6-arm Star-shaped (PMMA-b-PS)6 in Thin Film
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
-
스퍼터 ITO박막의 제조 공정 이해 및 활용
한국표면공학회지
2017 .04
-
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
-
Structural and surface characteristics of TiO2 thin films grown by RF magnetron sputtering
Journal of Ceramic Processing Research
2019 .01
-
4H-SiC 기판 위에 RF Sputter로 증착된 NiO 박막의 후열처리 효과
전기전자재료학회논문지
2023 .03
-
증착 온도가 라디오파 마그네트론 스퍼터링으로 성장한 SnO₂:Eu3+ 박막의 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2023 .06
-
탄소섬유 물리적 특성 향상을 위한 스퍼터링 탄소박막의특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구
한국정보전자통신기술학회 논문지
2018 .12
-
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
-
스퍼터링 공정 조건이 산화 구리 박막 특성에 미치는 영향
Current Photovoltaic Research
2017 .03
-
RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용한 3차원 바나듐 옥사이드 나노구조물의 성장
한국산학기술학회 논문지
2022 .09
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-581-003561074