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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
양희주 (충북대학교) 주진원 (충북대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2018년도 학술대회
발행연도
2018.12
수록면
223 - 226 (4page)

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The shadow moire method is used to measure semiconductor deformation. For high sensitivity measurements, the limitation of measurement due to Talbot effect must be solved. In this study, we investigated the changes in the Moire measurement using the light sources of various spectra, and examined whether there are other problems caused by changing the wavelength. As a result, the measurable range was extended using the blue LED, which has a larger Talbot distance than other light sources.
#Shadow moire(그림자 무아레) #Wavelength(파장) #Talbot effect(탈봇 효과)

목차

Abstract
1. 서론
2. 파장에 따른 측정 정확도 평가
3. 백색광과 파란색 LED의 측정값 비교
4. 결론
참고문헌

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