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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정찬용 (한양대학교) 박관규 (한양대학교)
저널정보
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제39권 제2호
발행연도
2019.4
수록면
89 - 94 (6page)
DOI
10.7779/JKSNT.2019.39.2.89

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전 세계적으로 화학 및 생물 센서의 중요성이 부각되고 있다. 화학센서는 산업공정 제어부터 식품 및 음료 모니터링까지 다양한 분야에서 응용 가능하다. 이러한 곳들에서 필요로 하는 화학 센서는 높은 수준의 감도, 특정 물질에 대한 선택성 그리고 안정성 등을 포함하고 있어야 한다. 본 논문에서는 이러한 조건을 만족하는 CMUT (capacitive micromachined ultrasonic transducer) 화학 센서의 개발하고자 하였다. 10 MHz의에서 중심 주파수를 갖는 CMUT 센서와 2개의 CMUT 센서를 구동시킬 공진회로를 제작하였다. 제작된 CMUT 센서에 이산화탄소에 민감한 폴리머인 Polyhexanide를 코팅하였고 코팅을 하지 않은 센서와 동시에 구동한 후 사람의 호흡을 가하였다. 이때 2개의 센서에서 측정되는 중심 주파수의 차이를 통하여 이산화탄소를 검출하였다. 이를 통해 이산화탄소를 비롯한 다양한 가스의 유출을 검출하는 센서로 활용 될 수 있을 것이다.

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 이산화탄소 검출을 위한 CMUT 센서
3. CMUT 센서를 이용한 호흡 실험 결과
4. 결론 및 토의
References

참고문헌 (12)

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