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CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
Investigation of Heat Conditioning Method for CMP Pad
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .04
연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향
한국트라이볼로지학회 학술대회
2018 .10
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .06
CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
구조화된 표면을 가지는 CMP 연마 패드의 표면 특성이 재료제거율에 미치는 영향
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
구조화된 패드의 표면 제어를 통한 세리아 CMP 성능 향상
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Study on the Polishing Performance of CMP Pad Containing End-capping Polymer Structure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
CMP 가공시간과 패턴 사이즈 효과를 고려한 수학적 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
Tribology and Lubricants
2018 .06
Advances in CMP Technology over the Next Decade
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
DNN을 이용한 CMP 패드 컨디셔닝에서의 패드 마모 프로파일 예측
한국트라이볼로지학회 학술대회
2024 .10
착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .05
Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP
한국기계가공학회지
2018 .12
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