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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2015.1
- 수록면
- 652 - 657 (6page)
이용수
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본 논문에서는 원자층 증착법을 이용한 박막 증착 공정에서의 반응기체에 따른 Al-doped ZnO (AZO) 박막의 특성을 비교하였다. 투명 전도성 산화물 중의 하나인 AZO 박막은 trimethylaluminum (TMA)과 diethylzinc (DEZn)소스를 이용하여 원자층으로 증착되었다. 저온에서 반응기체 H2O와 O3의 비율을 바꾸어서 AZO 박막을 증착하였다. 이렇게 증착된 AZO 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성은 4-point probe, Hall effect measurement, 분광 광도계 (UV-VIS), 주사탐침현미경 (AFM), 장방출 주사전자현미경 (FE-SEM)을 통해 분석하였다. 또한, 박막의 미세구조와 원자 결합 구조는 고분해능 X-선 회절분석기 (HRXRD)와 광전자분광기 (XPS)로 분석하였다. 반응기체 H2O만 사용하여 증착한 AZO 박막의 비저항은 O3과 함께 사용한 박막보다 낮은 것을 확인하였다. 이것은 H2O만 사용하여 증착한 AZO 박막의 산소 공공이 증가하면서 전자 공여체 (electron donor)의 역할을 함으로써 전기 전도도가 향상되는 것임을 알 수 있었다.
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