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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.11
- 수록면
- 7 - 12 (6page)
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반도체 시장에서 소재 개발 및 제조 공법에 대한 연구는 꾸준히 진행되고 있다. 일반적으로 자동 로봇용 End Effector는 알루미나(Al2O3)와 탄화규소(SiC) 등의 세라믹이 사용되었다. 본 연구는 대량생산이 가능한 분말 성형 프레스 법을 통해 반도체 현장에서 사용되는 블랙 알루미나를 개발하였다. 그리고 알루미나와 블랙 알루미나를 자동 로봇의 End Effector에 적용될 수 있도록 평면 연삭기를 사용하여 연삭가공을 실시하였다. 연삭가공을 통해 블랙 알루미나 대한 표면 거칠기(Ra)를 비교 · 분석하여 최적의 절삭 조건을 확인 할 수 있었다. 알루미나 표면 거칠기는 이송 속도가 0.72 ㎜/sec이고 회전수가 1,700 rpm에서 0.4876 ㎛로 가장 양호하였다. 블랙 알루미나 표면 거칠기는 대부분의 절삭조건에서 0.2 ㎛이하의 정밀도를 나타내었으며, 이송 속도가 0.72 ㎜/sec이고 회전수가 1,900 rpm에서 0.1364 ㎛로 가장 양호하였다. 블랙 알루미나의 표면 거칠기는 알루미나 보다 0.35 ㎛ ~ 0.47 ㎛ 정도 양호하였다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 블랙 알루미나 성형
3. 연삭가공 및 표면 거칠기 분석
4. 결론
References
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
Kwang-Ho Lee, “Preparation and Characterization of Black Zirconia Ceramic”, Ph.D dissertation, MyongJi University , pp.2-4, 2009.
Hwan-Gyun Moon, “Study of cold isostatic pressing and sintering behavior of (Al+Y)3X (X=Zr, Ti, Y=Cu, Mn) nanocrystalline intermetallic compound synthesized by mechanical alloying”, Master’s thesis, Hanyang University , pp.1-3, 2002.
Seok-Won, Kang, “A Study on the Fabrication and Properties of Ballistic Ceramics for Alumina System”, Ph.D dissertation, MyongJi University , pp.1-5, 2003.
Jeongju Choi1 and Tae-won Choi, “Study on the Optimal Control of the Plunge Grinding for Valve Parts in Batch Production”, Journal of the Korea Academia-Industrial Cooperation Society , Vol.12, No.11, pp. 4726~4731, 2011. DOI: https://doi.org/10.5762/KAIS.2011.12.11.4726
Uematsu, K., Itakura, K., Uchida, N., Saito, K., Miyamoto, A. and Miyashita, T., , “Hot Isostatic Pressing of Alumina and Examination of the Hot Isostatic Pressing Map,, Journal of The America Ceramic Society , Vol.73, No.1, pp.74~78, 1990. DOI: https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1990.tb05093.x
Hwan-Gyun Moon, “Study of cold isostatic pressing and sintering behavior of (Al+Y)3X (X=Zr, Ti, Y=Cu, Mn) nanocrystalline intermetallic compound synthesized by mechanical alloying”, Master’s thesis, Hanyang University , pp.1-3, 2002.
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