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저자정보
엄성운 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) 강석희 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) 홍석원 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제26권 제11호
발행연도
2016.1
수록면
635 - 643 (9page)

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Graphene has shown exceptional properties for high performance devices due to its high carrier mobility. Of particular interest is the potential use of graphene nanoribbons as field-effect transistors. Herein, we introduce a facile approach to the fabrication of graphene nanoribbon (GNR) arrays with ~200 nm width using nanoimprint lithography (NIL), which is a simple and robust method for patterning with high fidelity over a large area. To realize a 2D material-based device, we integrated the graphene nanoribbon arrays in field effect transistors (GNR-FETs) using conventional lithography and metallization on highly-doped $Si/SiO_2$ substrate. Consequently, we observed an enhancement of the performance of the GNR-transistors compared to that of the micro-ribbon graphene transistors. Besides this, using a transfer printing process on a flexible polymeric substrate, we demonstrated graphene-silicon junction structures that use CVD grown graphene as flexible electrodes for Si based transistors.

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