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자료유형
학술저널
저자정보
정이하 (한국기술교육대학교 디자인공학과) 김병한 ([주]에스지엠) 홍주표 (한국기술교육대학교 디자인공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제14권 제1호
발행연도
2015.1
수록면
45 - 49 (5page)

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Process gases with vapor or liquid phase as well as gas phase may experience alteration in itself or be contaminated in the fluid pipe to the process chamber. And thus it result in as particles or defects on the substrates in semiconductor, LCD, LED manufacturing. Purifiers and filters are used for control of contamination. However, none of detection device is available in the delivery line. In this paper, we propose simple device with lighting and sensing in order to predict contamination of the fluid or the tube wall. For some general purpose gases, it showed constant voltage output regardless of the flow rates. But, the smoke and the moisture in the air lowered the figure due to its concentration. Numerical values for several solid and liquid media were obtained. And, the operating temperature tendency was investigated.
#contamination detection #light and sense #gas delivery #flow rate #semiconductor manufacturing

목차

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참고문헌 (9)

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류훈철 / 2006 / 미량 기체의 밀도 측정을 위한 외부 공진기 반도체 레이저 광학공동 적분 투과 분광법 / 한국진공학회지 15(1):24~30 dbpia Shin, E. C. / 2004 / Development of Optical Particle Counter(OPC) / Optical Society Korea Summer Meeting :280~281 google schola Bae G. N. / 2000 / Investigation of the Performance Characteristics of an In-Situ Particle Monitor at Low Pressures Using Aerodynamic Lenses / J. KSME B 24(10):1359~1367 google schola 전기문 / 2011 / 화학기상증착 진공공정의 실시간 진단연구 / 한국진공학회지 20(2):86~92 dbpia 이창희 / 2013 / 초음파를 이용한 광학창 오염방지 모듈 / 한국진공학회지 22(4):175~180 google schola

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