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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김정덕 (한국교통대학교) 한승아 (삼성전자) 양원백 (숭실사이버대학교) 임종국 (한국교통대학교)
저널정보
한국가스학회 한국가스학회지 한국가스학회지 제24권 제5호
발행연도
2020.10
수록면
74 - 81 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2022

반도체용 특수가스 공급장치에서의 가스누출 유동해석과 피해대책에 관한 연구
김정덕 안전공학과 안전공학 전공 2022.01 학위논문

2021

반도체용 특수가스 공급장치 내부에서의 가스누출 원인에 따른 유동해석에 관한 연구
김정덕 ,  권기선 ,  임종국 외 1명 한국가스학회지 2021.04 학술저널

2020

반도체용 특수가스 공급을 위한 가스캐비닛 내부 유동해석에 관한 연구
김정덕 ,  한승아 ,  양원백 외 1명 한국가스학회지 2020.10 학술저널

초록· 키워드

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일반적으로 반도체를 제조할 때는 인화성, 독성, 부식성의 유해 ․ 위험물질이 다수 사용되며, 특히 화학적 증착(CVD), 식각(Etch) 등의 공정에서는 특수가스를 사용하여 반도체를 제조하고 있다. 특수가스는 압축 또는 액화가스의 상태로 용기에 충전되어 있는데, 특수가스를 반도체 제조공정에 공급하는 설비로서 가스캐비닛(Gas Cylinder Cabinet)이 사용되고 있다. 이러한 가스공급시스템 내에서 실린더 이상 발생 시 배관 ․ 계측기 등 공급시스템의 안전 확보를 위해 가스실린더에 설치된 압력방출장치를 통해 가스가 방출하게 되는데, 이 경우 가스캐비닛 내부에 방출되는 가스가 캐비닛 외부로 누출될 위험성이 존재한다. 따라서 가스캐비닛 내부의 유체유동을 분석하여 누출에 따른 위험성을 파악하고 이에 대한 위험도 감소를 위한 대책을 제시하고자 한다.
#gas cylinder #gas cabinet #gas cylinder cabinet #specialty gas #semiconductor

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론적 배경
Ⅲ. 본론
Ⅳ. 유동해석 결과 및 고찰
Ⅴ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
이근원 / 2016 / 반도체 산업 공정가스의 혼화성에 따른 반응성 고찰 / 한국가스학회지 20(4):15~24 dbpia 장유리 / 2015 / 실험실 가스 누출 시 피해 영향 분석 / 한국가스학회지 19(4):29~34 dbpia Lee M / 1997 / Special gas supply facilities and exhaust gas treatment facilities in semiconductor factories :109~117 google schola 2016 / KOSHA Guide P-149-2016, Technical guidelines for storage of gas cylinders in storage cabinets / Korea Occupational Safety and Health Agency google schola 2012 / KOSHA Guide P-12-2012, Special gas handling safety technical guidelines in the electronics industry / Korea Occupational Safety and Health Agency google schola

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