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학술대회자료
저자정보
손준규 (동명대학교) 서준영 (동명대학교) 김태경 (동명대학교) 이현섭 (동명대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2019년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2019.10
수록면
144 - 144 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (9)

2021

CMP 공정에서 연마패드 수명향상을 위한 접촉면적 가변형 컨디셔닝에 관한 연구
손준규 기계시스템공학과 2021.01 학위논문

2020

화학기계적 연마에서 컨디셔닝 시스템에 따른 연마 패드 프로파일해석 및 실험적 검증
손준규 ,  박성현 ,  이현섭 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2020.09 학술대회자료
3중 존 컨디셔너의 연마패드 해석
손준규 ,  박성현 ,  이현섭 한국트라이볼로지학회 학술대회 2020.09 학술대회자료
CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구
손준규 ,  박성현 ,  이현섭 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2020.06 학술대회자료

2019

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증
손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2019.11 학술대회자료
CMP 연마패드 프로파일 형상 제어
손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료
화학기계적 연마에서 컨디셔너의 회전속도비에 따른 연마패드 마모해석
손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019.10 학술대회자료
화학기계적 연마에서 스윙암 구조 컨디셔닝의 오버행에 따른 연마패드 프로파일 해석
손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.05 학술대회자료
화학기계적 연마에서 컨디셔너 직경에 따른 연마패드 마모 해석
손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 1명 한국트라이볼로지학회 학술대회 2019.04 학술대회자료

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#Chemical Mechanical Polishing #Swing-arm #Pad Profile #Conditioning #Conditioner

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