반도체 FAB에서 웨이퍼 로트 적기운반을 위한 재공 저장 위치 선정 연구

김해중; 이종성

doi:10.7737/KMSR.2021.38.1.047

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김해중 (삼성전자) 이종성 (한국교통대학교)

저널정보: 한국경영과학회 경영과학 經營科學第38卷第1號

발행연도: 2021.3

수록면: 47 - 55 (9page)

DOI: 10.7737/KMSR.2021.38.1.047

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This paper proposes a work-in-process (WIP) allocation approach to improve on-time transfers of a unified automated material handling system (AMHS) in a semiconductor fabrication facility (FAB). The real-time operation and control of the complex AMHS often cause delayed transfers of wafers to manufacturing machines and result in production loss. We introduce transfer-due-dates from storages to manufacturing machines to enhance the on-time transfers in the AMHS and develop a mathematical model to allocate the WIP to the optimized storage locations based on transfer- due-date. The simulation results demonstrate that the machine utilization as well as the AMHS capability for on-time transfers can be improved by assigning the wafers’ interim storage locations more appropriately.

#Semiconductor Fabrication #AMHS #WIP Allocation #On-Time Transfer

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Ahn, K. / 2019 / Idle vehicle rebalancing in semiconductor fabrication using factorized graph neural network reinforcement learning / Proceedings of the IEEE Conference on Decision and Control :132~138

Bahri, N. / 2001 / A comparison of unified vs. segregated automated material handling systems for 300 mm fabs / 2001 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing. ISSM 2001. Conference Proceedings (Cat. No.01CH37203) :3~6

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Chaabane, A. B / 2013 / Analyzing the impact of key parameters of vehicle management policies in a unified AMHS / 2013Winter Simulations Conference :3818~3828

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