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Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발
Proceedings of KIIT Conference
2021 .11
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술
한국산학기술학회 논문지
2021 .01
영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
웨이퍼 레벨 하이브리드 본딩을 위한 초정밀 웨이퍼 Align/Attach 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석
대한기계학회 논문집 B권
2018 .01
Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer
한국정보기술학회논문지
2024 .09
프로브 마크 비전 검사를 위한 웨이퍼 얼라인먼트 자동화 시스템 개발
대한전자공학회 학술대회
2023 .05
프로브 마크 비전 검사를 위한 웨이퍼 얼라인먼트 자동화 시스템 개발
대한전기학회 학술대회 논문집
2023 .05
반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2015 .06
고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
FPGA 기반의 웨이퍼 비전 얼라인먼트 시스템 설계
Proceedings of KIIT Conference
2024 .05
Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
웨이퍼 품질 분류를 위한 결함 맵 노이즈 제거 알고리즘 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구
반도체디스플레이기술학회지
2017 .01
웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
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