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황준식 (KAIST) 이후승 (충남대학교) 김승우 (KAIST) 김영진 (KAIST)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
629 - 629 (1page)

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마이크로 금속 벌집 구조는 특유의 구조적, 광학적 특성으로 인하여, 플라즈모닉 센서, 에너지 저장 소자, 태양 전지 등 다양한 분야에 활용되고 있다. 해당 구조의 제작은 폴리스티렌 비드를 이용한 Nanosphere Lithography, 용액의 증발을 이용한 Breath Figure 방법이 주로 사용되는데, 해당 공정들은 공통적으로 템플릿 형성, 선택적 패터닝, 금속 구조 형성이라는 다단계 공정을 따르고 있다. 본 연구에서는 유기 금속 화합물의 레이저 패터닝을 이용한 마이크로 은 벌집 구조를 제작하는 공정을 제안하고자 한다. 해당 공정은 템플릿 없이 코팅된 용액의 단순 레이저 패터닝만으로 선택 ... 전체 초록 보기
#Micro metal honeycomb structure #Organometallic solution #Laser patterning #Surface-enhanced raman scattering sensor

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