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학술대회자료
저자정보
황순형 (한국기계연구원) 고지우 (한국기계연구원) 정준호 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
658 - 658 (1page)

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전자빔 리소그래피, 집속 이온 빔(FIB)와 같은 반도체 공정 장비를 이용한 나노/마이크로 구조체 제작은 고해상도의 구조체 제작이 가능하지만 많은 비용과 시간이 요구되며 제작하고자 하는 기판에 영향을 많이 받게 된다. 이러한 단점을 극복하고자 반도체 공정 장비를 이용하여 나노/마이크로 구조체가 형성된 실리콘 기반의 마스터 스탬프제작 후 UV 혹은 열 경화성 고분자를 이용하여 마스터 스탬프의 패턴을 복제하여 반복적으로 사용할 수 있는 나노임프린트 리소그래피 공정이 개발되었으나, 복잡한 공정 프로세스와 대면적 구조체 제작 한계로 인하여 상용화에 어려움이 있다. 나노^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10582234');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#
#Nanotransfer printing #Nanoimprint lithography #Water-soluble polymer #Textile substrate #Flexible substrate

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