4차 산업의 발달과 5G 통신 기술의 발달로 고주파 송수신 기술의 중요성이 증가함에 따라 전자기기들의 소형화, 집적화로 인해 전자기기 부품 간의 전파 장애 문제 또한 증가하고 있다. 대표적인 고주파 영역의 전자파 차폐/흡수 소재로 금속 소재가 많이 사용되나 높은 부식성과 두꺼운 두께로 인해 집적화 된 전자부품에 사용하는데 한계가 있다. 따라서 적절한 내식성을 가지면서 비교적 얇은 두께에서 높은 전자파 차폐/흡수율을 가지는 chip package용 전자파 차폐/흡수 박막의 필요성이 요구된다. 따라서 본 연구에서는 금속 모재의 부식을 막고 높은 내식성을 가진다고 알려진 Ni-Zn 합금 박막을 마그네트론 스퍼터링 진공 증착법을 이용하여 일정한 두께(~370 nm)의 박막을 증착하였고 각각의 합금성분의 조성에 따라 전자파 차폐/흡수율의 특성 거동 및 내식성을 비교 분석하였다. XRD, SEM 및 EDS 분석을 통해 박막의 상(Phase), 표면 Morphology, 조성을 확인하였다. 비교적 측정이 쉬운 4 point probe 방법으로 면저항을 측정하여 원거리 영역에서의 전자파 차폐/흡수율을 계산하였다. 또한 IEC 62333-2을 적용한 마이크로스트립라인(Mic ... 전체 초록 보기