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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.11
- 수록면
- 230 - 231 (2page)
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A hydrogen sensor was fabricated on an AlGaN/GaN-on-Si wafer with a 4nm thin AlGaN barrier layer. A gate electrode was applied to the catalyst layer in order to find the optimum bias condition. It was found that the sensing response characteristics were correlated wit ... 전체 초록 보기
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