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Uddin Md Mayen (울산대학교) Farid Forhaz (울산대학교) Lee Jun Hee (울산대학교) Kim Hyeon Cheol (울산대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2022년도 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집
발행연도
2022.6
수록면
591 - 594 (4page)

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A simple Al-doped WO3/Pt nanoparticles semiconducting metal oxides (SMO) based structure gas sensor with quicker detection of hydrogen gas is developed and thoroughly explored at high working temperature (300℃), which was created utilizing radio frequency magnetron sputtering technique (RF sputtering). The fabricated device has a detection range of 100~1000 ppm, with a response of 11.9% for 100 ppm and 280.3% for 1000 ppm. More notably, at 1000 ppm hydrogen gas, the sensor has a 1 sec reaction time and a 15 sec recovery time, indicating faster response and recovery detection than earlier studies. Consequently, the investigated device practically displayed adsorption with hydrogen gas at 300℃. As a result, the device under consideration appears promising for high-performance hydrogen sensing applications.

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental Section
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
Reference

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