반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가

송근수; 정준수; 김춘식; 양지석; 이건형; 유경훈

doi:10.3795/KSME-B.2023.47.5.281

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자료유형: 학술저널

저자정보: 송근수 (금영이엔지) 정준수 (금영이엔지) 김춘식 (티엔지) 양지석 (청남공조) 이건형 (삼성디스플레이) 유경훈 (한국생산기술연구원)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제47권 제5호(통권 제452호)

발행연도: 2023.5

수록면: 281 - 287 (7page)

DOI: 10.3795/KSME-B.2023.47.5.281

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이 논문의 연구 히스토리 (15)

2023

반도체 클린룸의 다양한 피드백 제어 방식에 대한 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가

송근수 , 정준수 , 김춘식 외 3명 대한기계학회 논문집 B권 2023.05 학술저널

전기클린룸의 실내 온도 및 습도에 대한 피드백 동시제어 수치해석

송근수 , 정준수 , 정동호 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2023.04 학술대회자료

2022

반도체 클린룸의 피드백 제어방식에 따른 실내온도 과도응답 및 에너지소비 평가

송근수 , 정준수 , 정동호 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2022.06 학술대회자료

반도체 클린룸의 다양한 실내온도 피드백 제어방식에 따른 과도응답 및 에너지소비 평가

송근수 , 정준수 , 송주섭 외 6명 대한기계학회 춘추학술대회 2022.04 학술대회자료

2021

반도체 클린룸의 실내온도 피드백 제어방식에 대한 과도 응답 및 에너지소비 평가

송근수 , 정준수 , 송주섭 외 6명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2021.11 학술대회자료

2011

반도체 클린룸용 외기공조시스템의 에너지소비량 분석 실험

송근수 , 유경훈 , 손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료

반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 연간 에너지소비량 분석 수치해석

송근수 , 유경훈 , 손승우 외 1명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2011.07 학술대회자료

2010

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지절감에 관한 수치해석

송근수 , 김형태 , 유경훈 외 3명 설비공학논문집 2010.10 학술저널

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수성능 수치해석

송근수 , 김형태 , 유경훈 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2010.06 학술대회자료

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 열회수량 수치해석

송근수 , 김형태 , 유경훈 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2010.05 학술대회자료

2009

반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지소비 수치해석

송근수 , 유경훈 , 김형태 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2009.06 학술대회자료

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 절감 수치해석

송근수 , 김형태 , 유경훈 대한기계학회 춘추학술대회 2009.05 학술대회자료

반도체 클린룸용 배기 열회수식 외기공조시스템의 에너지절감에 관한 실험적 연구

송근수 , 유경훈 , 강신영 외 1명 설비공학논문집 2009.05 학술저널

2008

반도체 클린룸용 배기 열회수식 에어와셔 시스템의 에너지 소비량에 관한 실험

송근수 , 유경훈 , 손승우 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2008.04 학술대회자료

반도체 클린룸용 에어와셔의 암모니아 제거성능 개선 연구

송근수 , 유경훈 , 손승우 한국실내환경학회지 2008.01 학술저널

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본 논문에서는 일반적인 반도체 클린룸에 대해 다양한 피드백 제어 방식에 따른 실내 온도와 에너지 소비량의 과도 응답을 제시한다. 본 피드백 제어에 도입한 제어기는 포화(saturation) 기능이 있는 on/off, PID, ANN 및 MPC 제어기이다. MATLAB/Simulink 플랫폼을 활용하여 클린룸 내부에서 일정한 절대습도 조건에서의 실내 온도 제어를 위한 제어 블록 선도가 개발되었다. 초기 1시간 동안의 시뮬레이션 결과로부터 적절하게 조정된 PID 제어 방식이 다른 제어 방식들보다 에너지 소비량이 가장 낮은 것으로 나타났다. 그러나 ANN 및 MPC 컨트롤러를 사용하면 PID 컨트롤러에 비해 더 빠른 응답을 제공하고 제로 오버슈트 출력을 제공함을 관찰하였다.

#Semiconductor Cleanroom(반도체 클린룸) #Indoor Temperature(실내온도) #Feedback Control Scheme(피드백 제어 방식) #Transient Response(과도 응답) #Energy Consumption(에너지소비량)

참고문헌 (16)

참고문헌 신청

Hu, S. C. and Tsao, J. M., 2007, “A Com-parative Study on Energy Consumption for HVAC Systems of High-tech FABs,” Applied Thermal Engineering, Vol. 27, pp. 2758~2766.

Hu, S. C., Wu, J. S., Chan, D. Y. L., Hsu, R. T. C. and Lee, J. C. C, 2008, “Power Consumption Benchmark for a Semiconductor Cleanroom Facility System,” Energy and Buildings, Vol. 40, pp. 1765~1770.

Tsao, J.-M., Hu, S.-C., Xu, T. and Chan, D. Y. L., 2010, “Capturing Energy-saving Opportunities in Make-up Air Systems for Cleanrooms of High-technology Fabrication Plant in Subtropical Climate,” Energy and Buildings, Vol. 42, pp. 2005~2013.

Lin, T., Hu, S.-C. and Xu, T., 2015 “Developing an Innovative Fan Dry Coil Unit (FDCU) Return System to Improve Energy Efficiency of Environmental Control for Mission Critical Cleanrooms,” Energy and Buildings, Vol. 90, pp. 94~105.

Shan, K. and Wang, S., 2017, “Energy Efficient Design and Control of Cleanroom Environment Control Systems in Subtropical Regions-A Comparative Analysis and On-site Validation,” Applied Energy, Vol. 204, pp. 582~595.

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