메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
정낙원 (한국생산기술연구원) 박지연 (한국생산기술연구원) 이창엽 (한국생산기술연구원) 송순호 (연세대학교) 김대해 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국에너지기후변화학회 한국에너지기후변화학회 학술대회 2023 한국에너지기후변화학회 추계학술대회 학술지
발행연도
2023.11
수록면
46 - 46 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
등록된 정보가 없습니다.
#레이저 흡수 분광법 #반도체 공정 가스 #암모니아 #염화수소 #불화수소

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

PFC 컨버터기반의 SiC 전력반도체 소자의 성능 비교실험
김영곤 ,  전인웅 대한전기학회 학술대회 논문집 2023 .05
가시광선과 중적외선 영역의 무보정 파장 변조 분광법을 이용한 O₂와 NO 가스 농도 측정에 관한 연구
송아란 ,  주근희 ,  김강현 외 3명 한국가스학회지 2023 .03
반도체 공정 분진 제거를 위한 액체금속 반응기 시스템 개발
김남훈 ,  박중현 ,  권성완 외 7명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2024 .05
인공신경망 모델을 활용한 반도체 부품 치수검사 효율 향상 연구
채종혁 ,  오승훈 ,  신창희 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2023 .11
우주용 반도체 부품에 활용되는 패키지기술 동향
이우준 항공우주시스템공학회 학술행사 논문집 2023 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-151-24-02-088258748