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목차
TPL 공정의 원리
TPL 공정의 활용
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참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
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이광자 리소그래피 공정을 활용한 금 전극 기반 마이크로니들 제작
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2024 .12
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Poisson Effect-assisted Replication Lithography for 3D Microstructure Fabrication
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
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Modelling atomic relaxation and bremsstrahlung in the deterministic code STREAM
Nuclear Engineering and Technology
2024 .02
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대면적 나노구조 패턴 제작을 위한 레이저 간섭 리소그래피 기술을 활용한 가간섭성 회절 기술에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
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마이크로패턴 정밀도 향상을 위한 Maskless Lithography 공정에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
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Additive Manufacturing of Nanocomposite Microrobot via Integration of Multi-photon Lithography with in-situ Synthesis of Nanoparticles
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2023 .04
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Poisson Effect-assisted Replication Lithography (PEARL) for Repetitive Fabrication of 3D Microstructures
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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[나노마이크로기술 부문] 3차원 디퓨저 리소그래피 기술 소개
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .05
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이광자 흡수 현상을 활용한 마이크로 3D 프린팅 기술
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2020 .12
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“마이크로 LED” 특집을 내면서
조명·전기설비
2019 .01
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소수성을 갖는 소금쟁이 다리 모사 마이크로 구조물 설계 및 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
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Roll mold용 180㎚ 급 대면적 (300㎜ × 900㎜) 패턴 제작
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2020 .06
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Photo lithography공정에 의한 자연모사 기반 표면 패턴의 향균효과 연구
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2016 .04
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2PP/2GL/PμSL 3D프린팅 기술을 활용한 경제적이고 효율적인 나노/마이크로 단위 초소형 2.5D~3D 형상 구현
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .05
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마이크로 렌즈와 마이크로 액정 셔터 어레이를 이용한 새로운 디지털 노광 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
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고종횡비 제작을 위한 드로잉 리소그래피 시뮬레이션
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2023 .04
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MEMS Mirror Based Laser Direct Lithography System
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
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DMD 노광 공정을 이용한 형상 가변형 마이크로 패턴 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
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시각적 관용성을 가지는 타일링 기법의 롤 타입 리소그래피 장비 적용에 대한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .10
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PSA: A Photon Search Algorithm
JIPS(Journal of Information Processing Systems)
2020 .01
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
딥러닝 기반 리소그래피 패턴 윤곽선 자동 추출 기법
김태연
,
김도년
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멤스 미러를 이용한 고속 레이저 직접 리소그래피 시스템
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2025
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첨단 반도체 EUV 리소그래피 기술과 국제안보 정세
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초미세 나노구조체 패턴 제작을 위한 차세대 리소그래피 공정기술
전환진
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Simulation Studies on Quasi-Bound States in the Continuum Introduced by Out-of-Plane Symmetry Breaking in Dielectric Metasurfaces
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