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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김문기 (Korea University of Technology and Education)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.22 No.3
발행연도
2013.6
수록면
356 - 363 (8page)

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Mechanical molding press which is used for transformation process during semiconductor manufacturing process has structural deformations by pressure. If these deformations have over limit range, life of the press itself can be reduced and it will be exerted on a bad effect for quality of the semiconductor. In this research, the main plates and links of a press are analyzed in relation to the structural deformations caused by pressure excluding thermal deformations. After modifying the modeling, the analysis is performed again to determine optimal design of the press, and this design is introduced to ensure that most of the stresses on the main plates are within safe allowable limits. As a result, an optimal design method for the structure is investigated to produce the desired pressure even when the size of the main structure is minimized.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 특성 평가 및 구조물 설계
3. 최적설계 결과
4. 결론
References

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2014-550-002509408