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학술대회자료
저자정보
박상현 (금오공과대학교) 이종찬 (금오공과대학교) 안범상 (금오공과대학교)
저널정보
한국트라이볼로지학회 한국트라이볼로지학회 학술대회 2016년도 한국윤활학회 제62회 춘계학술대회 발표 논문집
발행연도
2016.4
수록면
111 - 112 (2page)

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2016

CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구
박상현 ,  이종찬 ,  안범상 한국트라이볼로지학회 학술대회 2016.04 학술대회자료
CMP 공정에서 압력과 정반속도가 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 미치는 영향
박상현 ,  안범상 ,  이종찬 Tribology and Lubricants 2016.04 학술저널

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#CMP #Material Removal Rate #Sapphire Wafer

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박상현 ,  안범상 ,  이종찬 Tribology and Lubricants 2016 .04

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