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유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
외부 자기장이 인가된 유도 결합 플라즈마의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
금속 윈도우 유도 결합 플라즈마 방전 장치에 대한 수치 해석적 접근
인포메이션 디스플레이
2017 .01
Ar/CF₄ 혼합가스를 이용한 유도결합 플라즈마 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
유도 결합 플라즈마 이온 주입 장치 구조 열 전달 해석
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2021 .11
유체 시뮬레이션과 정전 탐침법을 이용한 유도결합 Ar 플라즈마 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .07
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유체 시뮬레이션을 이용한 Ar/H₂ 유도 결합형 플라즈마 소스의 중성 기체 온도 구배 효과에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
유도결합형플라즈마 이온원을 이용한 단면 분석용 집속이온빔 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
디스플레이 공정 플라즈마 기초
인포메이션 디스플레이
2015 .01
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