유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정; 이호준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 손의정 (부산대학교) 이호준 (부산대학교)

저널정보: 대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2017년도 대한전기학회 전기물성∙응용부문회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2017.10

수록면: 54 - 55 (2page)

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2018

유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 , 이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2018.10 학술대회자료

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화에 관한 연구

손의정 , 차주홍 , 서권상 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2018.02 학술대회자료

2017

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 , 이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2017.10 학술대회자료

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성연구

손의정 , 차주홍 , 김동현 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.08 학술대회자료

유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 한국진공학회 학술발표회초록집 2017.02 학술대회자료

2016

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.10 학술대회자료

Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 전기학회논문지 2016.10 학술저널

컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2016.07 학술대회자료

2015

랑뮤어 탐침과 컷오프 탐침을 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 대한전기학회 학술대회 논문집 2015.11 학술대회자료

컷오프 탐침과 랑뮤어 탐침을 이용한 자화유도결합플라즈마 특성 진단

손의정 , 김동현 , 이호준 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료

2014

정전 탐침법과 유체시뮬레이션을 이용한 DC플라즈마 특성 연구

손의정 , 김동현 , 이호준 전기학회논문지 2014.10 학술저널

Ar/CF4 Gas를 이용한 대면적 유도결합 플라즈마의 광분석 장치 개발에 관한 연구

손의정 , 윤용수 , 김동현 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2014.07 학술대회자료

정전 탐침법을 이용한 DC 플라즈마의 특성 분석

손의정 전자전기컴퓨터공 2014.01 학위논문

2013

정전 탐침법을 이용한 DC 플라즈마의 특성 분석

손의정 , 김동현 , 이해준 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2013.10 학술대회자료

컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단

손의정 , 김윤기 , 위성석 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료

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손의정

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주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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이호준

소속기관 경북대학교

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 1% 공학 > 전기전자공학 > 제어계측공학

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Modified Fluid Simulation of an Inductively Coupled Plasma Discharge

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