A Study on the Manufacturing Processes of a Pressure Sensor with Temperature Compensation

이서준; 이종항

doi:10.7736/KSPE.2017.34.10.701

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이서준 (한국산업기술대학교) 이종항 (한국산업기술대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.34 No.10

발행연도: 2017.10

수록면: 701 - 706 (6page)

DOI: 10.7736/KSPE.2017.34.10.701

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Pressure sensors are widely used in industries, including cars and coolers. Highly accurate pressure sensors are capable of corresponding to changes in the surrounding temperature. Additionally, the manufacturing process of pressure sensors greatly impacts the cost and degree of precision. This study undertook to examine the manufacturing process of pressure sensors, especially those using ceramic diaphragm. Ruthenium oxide (RuO2) was used instead of strain gauge for piezoresistance. TC thermistor (temperature coefficient) resistance compensated for changes in outdoor air temperature. Furthermore, thick-film resistors were precisely adjusted with laser trimming technology. These processes resulted in the production of a high accuracy diaphragm pressure sensor having an ability to correspond to changes in outdoor temperatures.

#Pressure sensor (압력센서) #Ceramic diaphragm (세라믹 다이아프램) #Thick film resistor (후막 저항) #Sintering (소결) #Temperature compensation (온도보상)

참고문헌 (11)

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Jang, J.-S., Kang, T.-H., Song, H.-W., Park, Y.-K., and Kim, M.-S., “High-Performance Multimodal Flexible Tactile Sensor Capable of Measuring Pressure and Temperature Simultaneously,” J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 31, No. 8, pp. 683-688, 2014. Lee, S.-J., Park, H.-Y., Kim, J.-K., and Min, N.-K., “Temperature Compensation Approach of Offset and Span for Piezo Type Pressure Sensor,” Proc of the Korean Institute of Electrical Engineers Conference, pp. 14-16, 2004. Jung, Y.-B., “Thermal Compensation Circuit with Improved Compensation Characteristic for Power Amplifier,” Journal of Institude of Korean Electrical and Electronics Engineers, Vol. 16, No. 3, pp. 177-181, 2012. Gadini, C. and Bigliati, M., “A Sensor Device, in Particular a Pressure Sensor,” CA Patent, WO 2016103171 A1, 2016. Choi, H. S. and Kang, S. B., “Development of Pressure Sensor for Underwater Environment Using Printed Electronics Method,” Proc. of KSPE Spring Conference, pp. 553-554, 2012.

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이 논문의 저자 정보

이서준

소속기관 한국산업기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 3 이용수 127

이종항

소속기관 한국산업기술대학교

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