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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제24권 제3호
발행연도
2015.1
수록면
208 - 213 (6page)

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The purpose of this study is to optimize the design of a capacitive pressure sensor element using the simulation of electrical characteristics. The simulation of the ceramic sensor diaphragm (Al2O3) was performed by permitting pressure to change the curvature of the diaphragm. The pressure capacitance (CP) was increased from 19.63 pF to 15.26 pF by applying pressure because the distance between the electrodes has been changed from 30μm to 15μm. When the thickness of the diaphragm was changed to 0.46~0.52 mm, a larger capacitance change showed in accordance with the reduced thickness, which means an increase of sensitivity. However, considering the viewpoint of the signal linearity, it was selected for the optimum thickness of the diaphragm to 0.50 mm. The designed sensor element based on simulated results was tested to measure the output characteristics. Comparing of simulated and measured results, there was a margin of error of approximately 2%.
#Pressure sensor #Capacitive type #Air-conditioner for automobile #Pressure of refrigerant

목차

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JongTaeKim / 2002 / Estimation of the Number of Change-Points with Local Linear Fit / 한국데이터정보과학회지 13 (2) : 251 ~ 260 google schola K. K. Baik / 2003 / Microsensor / Proc. of Society of Air-conditioning and refrigerating engineers of Korea : 107 ~ 114 google schola M. Z. Shaikh / 2008 / Modeling and simulation of MEMS characteristics : A numerical integration approach / J. of Theoretical an Applied Information Technology : 415 ~ 418 google schola W. H. Ko / 1997 / Touch mode capacitive pressure sensor for industrial applications / Proc. Of IEEE on Micro Electro Mechanical Systems : 284 ~ 289 google schola W. H. Ko / 1999 / Modeling of touch mode capacitive sensor and diaphragms / Proc. Of Solid-State Sensor and Actuators : 230 ~ 241 google schola

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