Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes

김우희; Stacey F. Bent

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김우희 (전북대학교) Stacey F. Bent (Stanford University)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2017년도 한국표면공학회 추계학술대회 논문집

발행연도: 2017.11

수록면: 81 - 81 (1page)

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김우희

소속기관 한양대학교 ERICA캠퍼스

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 45

Stacey F. Bent

소속기관 Stanford University

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 1 이용수 43

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