반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

웨이퍼 배치 구조를 갖는 CVD 챔버 내부의 유동 분석

강승환 ,  이재원 ,  고한서

대한기계학회 논문집 B권

2018 .01

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

반도체 웨이퍼 핸들링 포토공정 컴팩트 모듈개발

김범준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

정상 데이터 복원을 통한 영상 기반 반도체 웨이퍼 결함 검출 기법

박태경 ,  한승주 ,  홍제형

대한전자공학회 학술대회

2023 .06

An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication

Sungwon Hong ,  Younsoo Lee ,  Kungsik Lee

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발

황경환 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11

실리콘 웨이퍼상에 도금 기술을 이용한 반도체 소자용 구리 도선 코팅 공정 개발

권준형 ,  조완희 ,  정윤식 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2024 .10

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

Uncertainty 기반 반자동화 라벨링 방법론 제시: 반도체 웨이퍼 데이터를 중심으로

홍용민 ,  손준영 ,  권구민 외 4명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

혼류 공정을 위한 반도체 제조 장비 내 웨이퍼 투입 순서 결정

김홍연 ,  이준호 ,  김현정

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2023 .11