메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
안흘비 (과학기술연합대학원대학교) 박정재 (한국표준과학연구원) 진종한 (한국표준과학연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
205 - 205 (1page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
관통 전극은 적층형 반도체 소자에서 층간의 전기적 연결을 위해 사용되는 수직 도선으로 칩당 수천 개가 사용된다. 관통 전극의 지름과 깊이의 가공 오차는 공정 과정에서 공극이나 단선 같은 불량을 발생시키고, 수율 향상을 위해 지름과 깊이의 정밀한 측정이 요구된다. 또한, 단 하나의 불량이라도 칩 전체의 불량으로 이어지기 때문에 전수검사가 필수적이다. 본 연구 그룹에서는 관통 전극의 삼차원 형상을 측정하기 위해 공초점 현미경과 분광 간섭계를 이용하여 지름과 깊이를 높은 분해능으로 동시에 측정하기위한 연구를 수행해왔다. 하지만 점 측정이기 때문에 여러 관통 전극의 측정을 위해서는 전 영역을 횡방향으로 스캐닝해야 한다. 측정 효율성을 높이기 위해 먼저 전시 ... 전체 초록 보기
#Through-silicon vias #Optical microscope #Confocal microscope #Spectral-domain interferometer

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

Recent Trends on a Precision Dimensional Sensor Using Optical Modulation Techniques
장윤수 ,  박정재 ,  진종한 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2021 .12

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0