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원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Graphene Oxide 막의 염 제거율 및 안정성 증대를 위한 원자층증착법(Atomic Layer Deposition) 적용 및 평가
대한환경공학회 학술발표논문집
2018 .11
나노 파우더 원자층 증착을 위한 모듈 개발 및 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
원자층 증착법을 이용한 백금 전극 제작 및 고체산화물연료전지에의 적용
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
원자층 증착 박막을 활용한 고성능 산화물 전해질 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
전산유체역학을 이용한 Atomic Layer Deposition 장비의 내부 유동 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
원자층 증착법으로 성장시킨 게이트 산화막의 표면 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
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