원자층 증착법으로 성장시킨 게이트 산화막의 표면 특성에 관한 연구

변미랑; 윤장희; 권세훈; 홍태은

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저자정보: 변미랑 (한국기초과학지원연구원) 윤장희 (한국기초과학지원연구원) 권세훈 (부산대학교) 홍태은 (한국기초과학지원연구원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2022년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2022.11

수록면: 143 - 143 (1page)

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